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光學石英材料
合成石英(yīng)玻璃牌號ZS,即以前所稱的JGS1,一般采用化學氣相沉積法(CVD),將氣態高純四氯化矽在氫氧(yǎng)火焰中水解和熔融製成,大尺寸坯片還(hái)需高溫槽沉(chén)獲得。其特點是紫外至近紅外波段透過率高,200 nm透過率高達90%以上。且產品無熒光,無氣泡,無條(tiáo)紋,應力可達2 nm/cm,是(shì)普通光學材料所不可代替的。因為產品含有1100 ppm左右的羥基,導致其在紅外波段(特別是2730 nm)有較強的(de)吸收。
熔融石英玻璃(lí),是用氫氧火(huǒ)焰熔融高純石英砂製成的透明石英砣,經(jīng)熱整形得到規格更大(dà)、均勻性更好的石英錠和石英板,再經精密退(tuì)火獲得(dé)更好應力(≤3nm/cm)。其特點是熱膨(péng)脹係數低(5.5×10-7)、熱穩定好、物理機(jī)械性能強,主要用(yòng)於惡劣環境下的大中型反射鏡。
紅外石英玻璃牌號HS,即以前所稱的JGS3,一般由電熔(róng)或等離子體(PCVD)工藝製造(zào)。其最大優點是羥基含(hán)量極低(≤1ppm),在2730nm波段無吸收,彌補了合成石英玻璃的不(bú)足。等離子體工藝製得的高純石英玻璃可在全光譜波段(190nm~3500nm)使用。
半(bàn)導體石英材料
高純(chún)石英玻璃采用CVD或PCVD法(fǎ)製得。該產品具有純度高、無氣泡(pào)、無條紋(wén)的特性,且無熒光(guāng)、物理性能優越(見表),應力可達(dá)2nm/cm以內。根據生產(chǎn)工藝的(de)不同(tóng)羥(qiǎng)基(jī)含(hán)量有所(suǒ)差異,可滿足不同客戶需求。
采用火焰熔融法,生產(chǎn)透明石英圓砣。可加(jiā)工成透明(míng)石英圓片、方片、法蘭等,用於(yú)視窗及半導體石英配件等材料。也(yě)可(kě)以經過再次熱整形(槽沉)得到特殊規格的透明石英錠、石英(yīng)板(bǎn);同時還可以通過拉製工藝製成(chéng)透(tòu)明石英管、石英棒(bàng)。用於半導體配件材料、光導(dǎo)纖維製造輔料。
低(dī)羥基(jī)石英(yīng)玻璃采用等離子火焰法工藝(yì)製造,可生(shēng)產圓砣後(hòu)經過再加工成石英片、石英法蘭、石(shí)英管、石英棒等。優(yōu)點是羥基(jī)含量低(≤8ppm),被廣泛(fàn)用於半導體配件材料。
采用旋轉工藝,生產特殊壁厚的乳白石英管材(cái),可作(zuò)為焙燒爐管及隔熱用材料;采用氣煉工藝生產不透明(míng)石英玻璃,可加工成乳白石英板。有著良(liáng)好的隔熱和(hé)耐溫(wēn)性能,主要應用於半導體加工中的隔熱配(pèi)件。
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