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高純(chún)乳白石英玻璃 HPR3004

所屬分類:

概要: 采用旋轉(zhuǎn)工藝,生產特殊壁厚的乳白石英管材,可作為焙燒爐管(guǎn)及隔熱用材料;采用氣煉工藝生產不透明(míng)石英玻璃(lí),可加(jiā)工成乳白石(shí)英板。有著良好的隔熱和耐溫(wēn)性能,主要應用於半導體加工中的隔熱(rè)配(pèi)件。

關鍵詞:

高純乳白石英玻璃 HPR3004


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產(chǎn)品詳情(qíng)


  采(cǎi)用旋轉工藝,生(shēng)產特殊壁(bì)厚的乳白石英管(guǎn)材,可作為焙燒爐管及隔熱(rè)用材料;采用氣煉工藝生(shēng)產不透明石英(yīng)玻璃,可加工(gōng)成乳白石英板。有(yǒu)著良好的隔熱和耐溫性能,主要應用於半導體加工(gōng)中的隔熱配件。

 

金屬雜(zá)質含量(ppm) 

型號

Al

Fe

Ca

Mg

Cu

K

Na

Li

HPR3004A

25.0

0.5

0.8

0.1

0.1

1.6

2.2

0.3

HPR3004B

45.0

1.0

1.5

0.75

0.15

2.5

5.0

1.5

透(tòu)過率 T4mm

型號

400nm

500nm

600nm

700nm

HPR3004

1.0%

1.2%

1.2%

1.2%

物理機械性能

密度

1.95 g/cm3

抗壓強度

1000 N/mm2

熱膨脹係數(20℃-300℃)

5.4x10-7/℃

熱(rè)導率(20℃)

1.24 W/m℃

比熱(20℃)

650 J/kg℃

軟化點

1600 ℃

退火點

1100 ℃

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